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    4. 分子泵

              分子泵(Turbo Molecular Pump)主要用于為制造太陽能電池和半導體提供不可或缺的真空環境。島津分子泵有著世界最高水準的排氣能力,并且有一系列的產品可以滿足不同的太陽能電池模組和硅晶片的工藝需求,隨著市場的擴大,我們開發的腳步也從未停止。

      產品型號

      高吞吐量型

      ? 最大的排氣流量
      ? 卓越的耐腐蝕性能
      ? 外形緊湊的控制器
      ? 應對生成物對策(選購件)
      ? 各種監測功能
      ? 網絡接入對應
      ? 泵轉速可調
      ? 消費電力削減
      ? 適用于各種規格
      ? 無需調整(泵電纜更換時,無需對控制器再次調整)
      ? 無需蓄電池

      廣域型(03系列)

      ? 范圍廣且吞吐量大
      ? 支持數字電源
      ? 各種監測功能
      ? 可以進行網絡連接
      ? 通過CE認證,SEMI S2認證以及NRTL認證

      電源一體型

      ? 外形緊
      ? 節省能源
      ? 無需安裝電纜線或安裝控制架
      ? 強化了抽氣性能
      ? 無需外接電源

      復合軸承型

      ? 長耐久的軸承機理可以減少維護成本
      ? 可以和一個小型前級泵共同使用
      ? 可以任意選擇安裝方向

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